Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

3D-Analyse von Eigenspannungen in einkristallinen Halbleiterwafern mittels Infrarot-Raster-Polariskopie und hochaufgelöster Röntgenbeugung

 
: Herms, M.; Melov, V.G.; Schreiber, J.; Fukuzawa, M.; Yamada, M.

Deutsche Gesellschaft für Zerstörungsfreie Prüfung e.V. -DGZfP-, Berlin:
ZfP im Übergang zum 3. Jahrtausend. DGZfP-Jahrestagung 2000. Band 1
2000 (DGZfP-Berichtsbände 73.1)
ISBN: 3-931381-32-3
S.457-464
Deutsche Gesellschaft für Zerstörungsfreie Prüfung (Jahrestagung) <2000, Innsbruck>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IZFP ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/B-71264.html