Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

In-situ spectroscopic ellipsometry and photometry for magnetron sputter process control

 
: Vergöhl, M.; Malkolmes, N.; Matthee, T.; Bräuer, G.

Thin solid films (2000)
ISSN: 0040-6090
International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films <27, 2000, San Diego/Calif.>
Englisch
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
Fraunhofer FEP ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/B-69021.html