Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Different pulse techniques for stationary reactive sputtering with double ring magnetron

 
: Bartzsch, H.; Frach, P.; Goedicke, K.; Gottfried, C.

:

Surface and coatings technology 120/121 (1999), Nr.3-4, S.723 ff
ISSN: 0257-8972
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer FEP ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/B-64630.html