Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Cross-sectional specimen preparation from ICs downside for SEM and TEM-failure analysis using focused ion beam etching

 
: Altmann, F.; Katzer, D.

:

Thin solid films 343-344 (1999), S.609-611
ISSN: 0040-6090
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IWM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/B-64090.html