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Artikel
Pulvermetallurgische Herstellung von Sputtertargets für die Dünnschichttechnik
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1999
Journal Article
Titel
Pulvermetallurgische Herstellung von Sputtertargets für die Dünnschichttechnik
Author(s)
Böhm, A.
Scholl, R.
Kleinschmidt, U.
Kieback, B.
Zeitschrift
Werkstoffe in der Fertigung
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Fertigungstechnik und Angewandte Materialforschung IFAM