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Abscheidung superharter Schichten aus dem ternären System B, C und N mit einem HF-PLD-Hybridverfahren

	Aachen: Shaker, 1999, 180 S. : Ill. Zugl.: Aachen, TH, Diss., 1999 Berichte aus der Lasertechnik ISBN: 3-8265-6371-9

	Deutsch
	Dissertation
	Fraunhofer ILT ()
	CBN; Niederdruckentladung; Diamant; Kohlenstoffnitrid