Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Duktile Bearbeitung von Silicium-Wafern

 
: Uhlmann, E.; Engel, H.; Paesler, C.

Zeitschrift für wirtschaftlichen Fabrikbetrieb : ZWF 94 (1999), Nr.3, S.85
ISSN: 0947-0085
Deutsch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IPK ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/B-63286.html