Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Untersuchungen zur Herstellung von lateralen Tastnadeln für die Rasterkraftmikroskopie

 
: Knöfler, R.; Bertz, A.; Wolf, K.; Küchler, M.; Gessner, T.

Dötzel, W.:
4. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik. Mikrosystemtechnik : 11./12. Oktober 1999
Chemnitz: TU, 1999
ISBN: 3-00-004902-9
S.1777
Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik <4, 1999, Chemnitz>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/B-63082.html