Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Untersuchungen zur Herstellung von lateralen Tastnadeln für die Rasterkraftmikroskopie
| Dötzel, W.:
4. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik. Mikrosystemtechnik : 11./12. Oktober 1999
Chemnitz: TU, 1999
ISBN: 3-00-004902-9
S.1777 |
| Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik <4, 1999, Chemnitz> |
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| Deutsch |
| Konferenzbeitrag |
| Fraunhofer IZM () |