Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Technologieentwicklung für Beschleunigungssensoren und Drehratensensoren unter Nutzung von Waferbondverfahren

 
: Wiemer, M.

Chemnitz, 1999, 187 S. : Ill.
Chemnitz, TU, Diss., 1999
Deutsch
Dissertation
Fraunhofer IZM ()
Beschleunigungssensor; Mikromechanik

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/B-63067.html