Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Process and equipment simulation of copper CVD using Cu(hfac)vtms

 
: Wolf, H.; Gieser, H.; Riedel, S.; Streiter, R.; Gessner, T.

:

Microelectronic engineering 45 (1999), Nr.1, S.15 ff
ISSN: 0167-9317
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/B-63066.html