Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Advanced silicon bulk micromachining for angular rate sensor

 
: Wiemer, M.; Hiller, K.; Gessner, T.; Billep, D.; Ryrko, B.; Breng, U.; Zimmermann, S.; Gutmann, W.

Sensor '99. Proceedings. Vol.2
Wunstorf: AMA Service GmbH, 1999
S.243
Sensor <9, 1999, Nürnberg>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IZM ()