Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Advanced silicon bulk micromachining for angular rate sensor

 

Sensor '99. Proceedings. Vol.2
Wunstorf: AMA Service GmbH, 1999
S.243
Sensor <9, 1999, Nürnberg>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/B-63062.html