Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Abstimmbare resonante Sensorarrays in oberflächennaher Si-Bulk-Mikromechanik

 

Dötzel, W.:
4. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik. Mikrosystemtechnik : 11./12. Oktober 1999
Chemnitz: TU, 1999
ISBN: 3-00-004902-9
S.5-10
Fachtagung Mikrosystemtechnik <4, 1999, Chemnitz>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/B-63059.html