Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Infrared study of the Si surfaces and bonded Si wafers

 
: Milekhin, A.; Friedrich, M.; Wiemer, M.; Hiller, K.; Gessner, T.; Zahn, D.R.T.

:

Semiconductor Science and Technology 14 (1999), Nr.1, S.70-73
ISSN: 0268-1242
ISSN: 1361-6641
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/B-63023.html