Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Investigation of heat transfer in micromirrors

 
: Kehr, K.; Kurth, S.; Mehner, J.; Dötzel, W.; Gessner, T.

Gorecki, C. ; Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers -SPIE-, Bellingham/Wash.; European Optical Society -EOS-:
Microsystems metrology and inspection
Bellingham/Wash.: SPIE, 1999 (Europto series)
ISBN: 0-8194-3311-X
S.24-35
Conference on Microsystems Metrology and Inspection <1999, München>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/B-63007.html