Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Low-temperature approaches for fabrication of high-frequency microscanners

 
: Hiller, K.; Hahn, R.; Kaufmann, C.; Kurth, S.; Kehr, K.; Gessner, T.; Dötzel, W.; Wiemer, M.; Schubert, I.

Motamedi, M.E.; Goering, R. ; Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers -SPIE-, Bellingham/Wash.:
Miniaturized systems with micro-optics and MEMS
Bellingham, Wash.: SPIE, 1999 (Proceedings of SPIE 3878)
ISBN: 0-8194-3475-2
S.58-67
Conference on Miniaturized Systems with Micro-Optics and MEMS <1999, Santa Clara/Calif.>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/B-62998.html