Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Properties of sputtered and sol-gel deposited PZT thin films for sensor and actuator applications

Preparation, stress and space charge distribution, self poling
 

:

Ferroelectrics 230 (1999), S.109-114
ISSN: 0015-0193
ISSN: 1563-5112
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IKTS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/B-62689.html