Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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A study of the interface states in MIS-structures with thin SiO2 and SiOxNy layers using deep level transient spectroscopy

 
: Beyer, R.; Burghardt, H.; Thomas, E.; Reich, R.; Zahn, D.R.T.; Gessner, T.

:

Microelectronics reliability 39 (1999), S.297-302
ISSN: 0026-2714
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/B-62626.html