Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Simulation von widerstands- und lampenbeheizten Öfen für die Schichtabscheidung

 
: Poscher, S.
: Ryssel, H.

Aachen: Shaker, 1999, X, 130 S.
Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 1999
Erlanger Berichte Mikroelektronik, 5/99
Deutsch
Dissertation
Fraunhofer IIS B ( IISB) ()
Vertikalofen; Widerstandsofen; wafer; CVD-Verfahren; nitride; Prozeßsimulation

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/B-62392.html