Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Reaktives Magnetronsputtern von transparenten und leitfähigen Oxidschichten

 
: Szyszka, B.

Stuttgart: Fraunhofer IRB Verlag, 2000, 135 S. : Ill.
Zugl.: Gießen, Univ., Diss., 1999
Berichte aus Forschung und Entwicklung, 7
ISBN: 3-8167-5533-X
ISBN: 978-3-8167-5533-3
Deutsch
Dissertation
Fraunhofer IST ()
Vakuumbeschichtung; Reaktivsputtern; Mittelfrequenz-Magnetronsputtern; Zinnoxid; Zinkoxid; TCO-Schichten; ITO; transparente Schichten; leitfähige Schichten

Abstract
Es wird ein neues Verfahren zum reaktiven Sputtern von transparenten und leitfähigen (TCO) Schichtsystemen vorgestellt.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/B-47826.html