Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Model library and tool support for MEMS simulation

 
: Schwarz, P.; Schneider, P.

:

Behringer, U.F.W. ; Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers -SPIE-, Bellingham/Wash.:
MEMS design, fabrication, characterization, and packaging : 30 May - 1 June 2001, Edinburgh, UK
Bellingham/Wash.: SPIE, 2001 (SPIE Proceedings Series 4407)
ISBN: 0-8194-4108-2
S.10-23
Conference "MEMS Design, Fabrication, Characterization, and Packaging" <2001, Edinburgh>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IIS A ( IIS) ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/B-301163.html