Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Nanoporous dielectric materials for advanced CMOS

 
: Gessner, T.; Bohuslavova, A.; Schulz, S.E.

:

Li, B.-Z.:
6th International Conference on Solid-State and Integrated-Circuit Technology 2001. Proceedings. Vol.1 : October 22 - 25, 2001, Shanghai, China
Piscataway, NJ, USA: IEEE Press, 2001
ISBN: 0-7803-6520-8
ISBN: 7-900081-60-7
S.343-347
International Conference on Solid State and Integrated Circuit Technology (ICSICT) <6, 2001, Shanghai>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/B-301093.html