Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Parallel simulation of coupled oxidation and diffusion in VLSI wafer-fabrication

 
: Hackenberg, M.; Joppich, W.; Mijalkovic, S.

D'Hollander, E.; Joubert, G.; Peters, F.; Trottenberg, U.; Völpel, R.:
Parallel computing : Fundamentals, applications and new directions. ParCo '97, Bonn, 19-22 September 1997
Amsterdam: Elsevier, 1998 (Advances in parallel computing 12)
ISBN: 0-444-82882-6
S.211-216
International Conference on Parallel Computing <1997, Bonn>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer SCAI ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/980458.html