Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Simulation of thermal oxidation and diffusion processes by parallel PDE solver LiSS

 

Meyer, K. de; Biesemans, S.:
SISPAD 98. Simulation of semiconductor processes and devices
Wien: Springer, 1998
ISBN: 3-211-83208-4
International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD) <3, 1998, Leuwen>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer SCAI ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/970638.html