Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Coupled simulation of oxidation and diffusion in VLSI wafer fabrication

 

Sydow, A. ; International Association for Mathematics and Computers in Simulation -IMACS-:
15th IMACS World Congress on Scientific Computation, Modelling and Applied Mathematics 1997. Vol.3: Computational physics, chemistry and biology : Berlin, August 1997: proceedings
Berlin: Wiss. - und Technik-Verl., 1997
ISBN: 3-89685-553-0
ISBN: 3-89685-550-6
S.587-592
World Congress on Scientific Computation, Modelling and Applied Mathematics <15, 1997, Berlin>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer SCAI ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/970540.html