Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

A parallel tool for the simulation of thermal oxidation and diffusion processes

 

:

Institute of Electrical and Electronics Engineers -IEEE-, Yugoslavia Section:
21th International Conference on Microelectronics 1997. Proceedings. Vol.1 : Nis, Yugoslavia, 14 - 17 September 1997
Piscataway, NJ: IEEE, 1997
ISBN: 0-7803-3664-X
ISBN: 0-7803-3665-8
S.35-40
International Conference on Microelectronics (MIEL) <21, 1997, Nis>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer SCAI ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/970184.html