Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Derived boundary conditions for viscous thermal oxidation equations in pressure potential form

 
: Joppich, W.; Becker-Lengau, U.; Hackenberg, M.; Mijalkovic, S.

Meyer, K. de; Biesemans, S.:
SISPAD 98. Simulation of semiconductor processes and devices
Wien: Springer, 1998
ISBN: 3-211-83208-4
S.384-387
International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD) <3, 1998, Leuwen>
Englisch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer SCAI ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/1411619518.html