Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Diffusionsstabilität von Drucksensoren in Oberflächenmikromechanik
| Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Dresden; Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Duisburg:
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme. Tätigkeitsbericht 1993
Duisburg: IMS, 1994
ISSN: 0932-5824
pp.47-48 |
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| German |
| Book Article |
| Fraunhofer IMS () |