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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Diffusionsstabilität von Drucksensoren in Oberflächenmikromechanik
| Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Dresden; Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Duisburg: Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme. Tätigkeitsbericht 1993 Duisburg: IMS, 1994 ISSN: 0932-5824 pp.47-48 |
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