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Diffusionsstabilität von Drucksensoren in Oberflächenmikromechanik
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1994
Book Article
Title
Diffusionsstabilität von Drucksensoren in Oberflächenmikromechanik
Author(s)
Amelung, J.
Kandler, M.
Mokwa, W.
Mainwork
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme. Tätigkeitsbericht 1993
Language
German
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS
