Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Diffusionsstabilität von Drucksensoren in Oberflächenmikromechanik

 
: Amelung, J.; Kandler, M.; Mokwa, W.

Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Dresden; Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme -IMS-, Duisburg:
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme. Tätigkeitsbericht 1993
Duisburg: IMS, 1994
ISSN: 0932-5824
pp.47-48
German
Book Article
Fraunhofer IMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-9879.html