Dickschicht-Drucksensoren - Simulation der mechanischen Eigenschaften und spezielle Anforderungen an Dickschichtpasten

Für das Design von Dickschicht-Drucksensoren werden in zunehmendem Maße Simulationswerkzeuge eingesetzt. Die Simulation im mechanischen Bereich erstreckt sich von der Bestimmung der Plattenform über die Berücksichtigung der Einspannverhältnisse und der Montage des Sensors bis zur Bestimmung nichtlinearer Abhängigkeiten. Aus bisher mangelnder Kenntnis der physikalischen Mechanismen, die zum piezoresistiven Effekt bei Widerstandspasten führen, wird der Einfluß der Widerstände auf die Ausgangskennlinie des Sensors durch eine experimentelle Bestimmung der Kennwerte in die Simulation miteinbezogen.