Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Verfahren zur vertikalen Integration von elektrischen Bauelementen mittels Rückseitenkontaktierung

 
: Ramm, P.; Klumpp, A.

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Frontpage ()

DE 1999-19924287 A1: 19990527
EP 2000-945532 AW: 20000516
WO 2000-DE1605 A: 20000516
DE 1999-19958486 A: 19991204
EP 1171912 B1: 20030924
DE 19958486 A1: 20001207
H01L0021
H01L0021
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-88554.html