Optisches Element, Verfahren zu seiner Herstellung und zur Bestimmung seiner optischen Eigenschaften

Die Erfindung betrifft optische Elemente, Verfahren zur Herstellung solcher optischer Elemente und die Bestimmung der erreichten optischen Eigenschaften. Bei den optischen Elementen handelt es sich insbesondere um solche fuer die Reflexion, Transmission, Fuehrung und/oder Filterung elektromagnetischer Strahlung im Wellenlaengenbereich zwischen 100 und 400 nm. Auf einem Substrat sind dabei mindestens eine Schicht eines metallischen Fluorids ausgebildet. Mit der erfindungsgemaessen Loesung sollen die optischen Eigenschaften verbessert und insbesondere der stoerende Einfluss von Lumineszenz weitestgehend vermieden werden. In der einen bzw. auch mehreren Schichten eines optischen Elementes aus metallischen Fluoriden sollen gewaehrleisten, dass der Anteil mindestens eines in der Schicht zusaetzlich enthaltenen Elementes, das innerhalb mindestens eines vorgebbaren Wellenlaengenbereiches von elektromagnetischer Strahlung luminesziert, ? 10 Masse-ppm ist. Bei der Herstellung solcher optischer Elemente werden die eine oder mehrere Schichten aus dem jeweils eingesetzten metallischen Fluorid durch thermische Verdampfung oder Elektronenstrahlverdampfung, ionenunterstuetzte Abscheidung oder plasmaunterstuetzte Verdampfung ausgebildet, wobei entsprechende pulverfoermige oder granulare metallische Fluoride fuer die Schichtbildung eingesetzt werden. Im Anschluss an die Schichtausbildung koennen die so hergestellten optischen Elemente durch Bestrahlung mit elektromagnetischer Strahlung einer ...

WO2003079062 A UPAB: 20031107 NOVELTY - Optical element has at least one layer forming a metallic fluoride arranged on a substrate. The amount of element additionally contained in the layer is not more than 10 ppm and the additional element has a luminescence within at least a prescribed wavelength region of the electromagnetic radiation. DETAILED DESCRIPTION - INDEPENDENT CLAIMS are also included for the following: (1) process for the production of the optical element; and (2) process for determining the optical properties and/or layer quality of optical elements. The additional element is a transition metal and/or rare earth metal. The metallic fluoride is of magnesium (MgF3), yttrium (YF3), lanthanum (LaF3), aluminum (AlF3), neodymium (NdF3), barium (BaF2), Chiolith, dysprosium (DyF3), gadolinium (GdF3), Cryolite, lithium (LiF), sodium (NaF), lutetium (LuF3), samarium (SmF3), strontium (SrF3), terbium (TbF3), ytterbium (YbF3) or zirconium (ZrF4). USE - Used for reflection, transmission, guiding and/or filtering electromagnetic radiation, especially in lithography, laser technology, monochromating, spectral analysis, spectral decomposition, increasing transmission or reducing reflection (claimed). ADVANTAGE - The optical element has improved reflection and absorption.