Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Cubic boron nitride films prepared by reactive r.f. - and d.c. sputtering from different boron containing targets

 

:

Surface and coatings technology 74-75 (1995), pp.717
ISSN: 0257-8972
English
Journal Article
Fraunhofer IST ()
DC-sputtering; infrared spectroscopy; sputtering

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-8843.html