Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Computer simulations of resit profiles in X-ray-lithographie.

Rechnersimulationen von Photolackprofilen in der Roentgenlithographie
 
: Heinrich, K.; Betz, H.; Heuberger, A.; Pongratz, S.

Journal of vacuum science and technology 19 (1981), No.4, pp.1254-1258 : Abb.,Lit.
ISSN: 0022-5355
English
Journal Article
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
Computersimulation; Lithographie; Photolack; Röntgenstrahlen

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-8392.html