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VORRICHTUNG ZUR UEBERWACHUNG VON ABSICHTLICHEN ODER UNVERMEIDBAREN SCHICHTABSCHEIDUNGEN UND VERFAHREN
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Patent
Title
VORRICHTUNG ZUR UEBERWACHUNG VON ABSICHTLICHEN ODER UNVERMEIDBAREN SCHICHTABSCHEIDUNGEN UND VERFAHREN
Inventor(s)
Ziegler, J.
Waller, R.
Pfitzner, L.
Schneider, C.
Ryssel, H.
Tegeder, V.
Link to Espacenet
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=EP&NR=954289A
Patent Number
1999-19929615
Publication Date
2003
Language
German
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB