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VERFAHREN ZUR REGELUNG VON SPUTTERPROZESSEN
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Title
VERFAHREN ZUR REGELUNG VON SPUTTERPROZESSEN
Date Issued
2003
Author(s)
Szyszka, B.
Malkomes, N.
Patent No
1999-19956733
Language
de
Institute
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST
Link
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=EP&NR=977458A
Patenprio
DE 1999-19956733 A: 19991125