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Verfahren zur Abscheidung transparenter silberhaltiger Metallschichten hoher Leitfaehigkeit im Vakuum und Verwendung des Verfahrens

Process for depositing silver-containing metal layers, used in production of flat screens, solar cells and electroluminescent systems, uses magnetron sputtering in an argon-containing atmosphere.
 
: Fahland, M.; Charton, C.; Karlsson, P.

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DE 2001-10147861 A: 20010927
DE 2001-10147861 A: 20010927
WO 2002-EP9798 A: 20020903
DE 10147861 A1: 20030424
C23C0014
C23C0014
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer FEP ()

Abstract
In zahlreichen technischen Anwendungen werden Schichten mit hoher optischer Transparenz und guter elektrischer Leitfaehigkeit benoetigt, wobei oftmals moeglichst duenne Schichten mit diesen Eigenschaften angestrebt werden. Haeufig kommen zur Herstellung derartiger Schichten Verfahren der Magnetron-Zerstaeubung zur Anwendung. Durch den Einsatz einer Entladungsspannung oberhalb von 700 V laesst sich die Schichtdicke silberhaltiger Schichten bei gleichem Flaechenwiderstand und verbesserter optischer Transparenz deutlich verringern. Herstellung von Flachbildschirmen, Duennschichtsolarzellen, Elektrolumineszenzsystemen etc.

 

WO2003029511 A UPAB: 20030526 NOVELTY - Process for depositing silver-containing metal layers having a thickness of less than 20 nm uses magnetron sputtering in an argon-containing atmosphere. The process is regulated so that a voltage of more than 700V is applied temporarily between a magnetron operating as a cathode with a target of material to be sputtered and an anode. DETAILED DESCRIPTION - Preferably the plasma discharge of the sputtering process is operated in a pulsed manner. The target is made from pure silver. Nitrogen is added to the argon-containing atmosphere. Deposition of the silver-containing metal layer is carried out on a polymer or glass substrate. A voltage of more than 850V is temporarily applied. USE - Used in the production of flat screens, solar cells and electroluminescent systems. ADVANTAGE - The layers have high optical transparency and good electroconductivity.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-83530.html