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AKTORBAUGLIED FUER EINEN MIKROZERSTAEUBER UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG
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Title
AKTORBAUGLIED FUER EINEN MIKROZERSTAEUBER UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG
Date Issued
2003
Author(s)
Schnupp, R.
Thomas, J.
Patent No
1999-19938055
Language
de
Institute
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB
Link
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=EP&NR=949481A
Patenprio
DE 1999-19938055 A: 19990812