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Solloesung zur Herstellung von Glasbeschichtungen fuer elektrisch leitende, zum anodischen Bonden einsetzbare Materialien

Sol solution for producing glass coating on electroconductive materials, comprises polymerized mixture of silica organosol in n-alkanol, tetraethyl orthosilicate and/or tri(m)ethoxysilane, acidic or basic solution and alkali alcoholate.
 
: Quenzer, H.J.; Schulz, A.V.

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DE 2001-10134892 A1: 20010718
DE 2002-10208782 A: 20020228
WO 2002-DE2541 A: 20020711
EP 2002-754349 AW: 20020711
DE 10208782 A1: 20030206
EP 1407487 B1: 20041229
C03C0017
H01L0021
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer ISIT ()

Abstract
Beschrieben wird eine Solloesung sowie ein Verfahren zur Herstellung dieser Solloesung, die als Beschichtungsmittel zur Herstellung von Glasschichten auf elektrisch leitende, zum anodischen Bonden einsetzbare Materialien dient. Die Solloesung ist ein Gemisch aus einem Organosol, bestehend aus SiO2, geloest in mindestens einem oder einer Mischung aus mehreren n-Alkanolen, einem Tetraethylorthosilikat (TEOS) und/oder einem Triethoxy- oder Trimethoxysilan sowie einer Saeure oder Base und Wasser und das Gemisch ist wenigstens teilweise polymerisiert. Die Solloesung zeichnet sich dadurch aus, dass ein Alkalialkoholat in dem Gemisch enthalten ist.

 

WO2003009369 A UPAB: 20030328 NOVELTY - Sol solution for producing glass coatings for electroconductive materials suitable for anodic bonding comprises: (1) a (partly) polymerized mixture of an organosol containing silica (SiO2) dissolved in n-alkanol(s), a tetraethyl orthosilicate (TEOS) and/or a tri(m)ethoxysilane; (2) an acid or base and water; and (3) an alkali alcoholate. DETAILED DESCRIPTION - INDEPENDENT CLAIMS are included for: (1) The preparation of the sol solution by preparing an organosol by dissolving SiO2 in n-alkanol(s), preparing a mixture by adding TEOS and/or tri(m)ethoxysilane to the organosol, adding an alkali alcoholate and polymerization; (2) The production of a coating by applying the sol solution to a substrate by dipping, spinning and/or spraying. USE - The sol solution is used for producing glass coatings for electroconductive materials suitable for anodic bonding, preferably for coating an electroconductive substrate with a glass film containing alkali, which is used as intermediate layer for bonding 2 electroconductive, flat substrates by anodic bonding. ADVANTAGE - Adding alkali alcoholate to sol solutions ensures much better stability of several days to weeks. The solution also allows cost-effective production of 500 nm to 30 micro m thick glass coatings containing alkali.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-81903.html