Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Cobalt disilicide formed by rapid thermal annealing and through-metal arsenic implantation

 
: Burte, E.P.; Min, Y.

:

Journal of Materials Research 6 (1991), No.9, pp.1892-1899
ISSN: 0884-2914
English
Journal Article
Fraunhofer IIS B ( IISB) ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-7987.html