Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

CO2 laser annealing characteristics of high-dose boron and arsenic-implanted silicon.

Laserausheilungseigenschaften von mit Bor (hochdotiert
 
: Tsien, P.H.; Goetzlich, J.; Ryssel, H.; Ruge, I.

Journal of applied physics 53 (1981), pp.663-668 : Abb.,Lit.
ISSN: 0021-8979
ISSN: 1089-7550
English
Journal Article
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
Arsen; implantation; Laserannealing; Silizium

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-7973.html