Fraunhofer-Gesellschaft

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CMOS kompatibler Drucksensor in planarer Ätztechnik mit integrierter Ausleseelektronik

 
: Eichholz, J.; Kandler, M.; Manoli, Y.; Mokwa, W.

VDI-Gesellschaft Fahrzeugtechnik:
Elektronik im Kraftfahrzeug. Tagung 1990 = Electronic systems for vehicles : 5. und 6. September 1990
Düsseldorf: VDI-Verlag, 1990 (VDI-Berichte 819)
ISBN: 3-18-090819-X
pp.119-126
VDI-Gesellschaft Fahrzeugtechnik (Tagung) <1990, Baden-Baden>
German
Conference Paper
Fraunhofer IMS ()
kapazitiver Drucksensor

Abstract
Im vorliegenden Beitrag wird ein kapazitiver Drucksensor vorgestellt, der in der CMOS IC-Technologie gefertigt wird und somit einer entsprechenden Ausleseelektronik auf einem Chip integriert werden kann. Durch Herstellung in einer planaren Ätztechnik ist der Sensor sehr klein und extrem überdrucksicher. Vorteile einer solchen monolithischen Produktion sind die elektromagnetische Verträglichkeit, die Betriebssicherheit, seine geringen Abmessungen und die Integrationsfähigkeit in eine microcontrollergestützte Meß- und Regeltechnik.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-7919.html