CMOS kompatibler Drucksensor in planarer Ätztechnik mit integrierter Ausleseelektronik

Im vorliegenden Beitrag wird ein kapazitiver Drucksensor vorgestellt, der in der CMOS IC-Technologie gefertigt wird und somit einer entsprechenden Ausleseelektronik auf einem Chip integriert werden kann. Durch Herstellung in einer planaren Ätztechnik ist der Sensor sehr klein und extrem überdrucksicher. Vorteile einer solchen monolithischen Produktion sind die elektromagnetische Verträglichkeit, die Betriebssicherheit, seine geringen Abmessungen und die Integrationsfähigkeit in eine microcontrollergestützte Meß- und Regeltechnik.