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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Chemische Festkörpersensoren für Gase
 
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1991
Journal Article
Title

Chemische Festkörpersensoren für Gase

Abstract
In den letzten 10 Jahren haben Forschung und Entwicklung auf dem Gebiet der chemischen Festkörper-Sensoren einen immer größeren Umfang angenommen. Der folgende Bericht erläutert die Arbeitsweise der wichtigsten Gassensoren, die vor allem zum Nachweis kleiner Konzentrationen von Fremdgasen in Luft dienen. Für Ausführungsformen und Anwendungen werden Beispiele gegeben.
Author(s)
Kohl, D.
Heiland, G.
Mokwa, W.
Journal
Physikalische Blätter  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS  
Keyword(s)
  • chemischer Sensor

  • homogener Sensor

  • kalorimetrischer Sensor

  • monolithische Integration

  • strukturierter Halbleitersensor

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