Fraunhofer-Gesellschaft

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Chemical sensors - basic devices and system technology

 
: Endres, H.-E.; Drost, S.

Reichl, H.; Heuberger, A.:
Micro-system technologies '94
Berlin; Offenbach: VDE-Verlag, 1994
ISBN: 3-8007-2058-2
pp.791-800
Micro System Technologies <1994, Berlin>
English
Conference Paper
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
chemical sensors; gas sensor; micro system technology; micro technology; system technology

Abstract
Sensoren zur Erfassung chemischer Größen sind wichtige Elemente der Meß- und Regelungstechnik. Prinzipiell bestehen chemische Sensoren aus einem Indikatormaterial (sensitives Material) und einem physikalischen Meßwertaufnehmer (Transducer, Grundbauelement). Das Indikatormaterial soll mit einer möglichst spezifischen und reversiblen Nachweisreaktion einen bestimmten Stoff feststellen und durch eine Änderung seiner Materialeigenschaften anzeigen. Klassisches Beispiel dafür ist das Lackmuspapier, das durch einen Farbumschlag den pH-Wert zu bestimmen erlaubt. Der physikalische Transducer mißt die Änderung der Materialeigenschaften und wandelt sie in ein elektrisches Signal um. Chemische Sensoren, die mit modernen Mikro(system)techniken hergestellt werden, haben gegenüber konventionellen Geräten eine Reihe von Vorzügen wie kostengünstige Herstellung bei großen Stückzahlen, Robustheit, kleine Baugröße und geringer Medienver- brauch. Sie können deswegen in vielen Anwendungsgebieten eingesetzt werden. Ein Nachteil der chemischen Sensorik, nämlich die geringe Selektivität der Einzelsensoren, kann durch die konsequente Anwendung der Systemtechnik vermindert werden. Die Kombination geeigneter Sensorbauelemente, die gleichzeitige Messung verschiedener Eigenschaften des Indikatormaterials und die Kombination mit anderen Komponenten, z.B. in einem Mikroanalysensystem, sowie einer intelligenten Signalverarbeitung kann Selektivität und Zuverlässigkeit des Gesamtsystems erheblich verbessern

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-7651.html