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Konferenzschrift
Charakterisierung von Werkstoffverbunden für neue Einsatzmöglichkeiten im Bereich der Mikrosystemtechnik
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1997
Conference Paper
Title
Charakterisierung von Werkstoffverbunden für neue Einsatzmöglichkeiten im Bereich der Mikrosystemtechnik
Author(s)
Michel, B.
Schubert, A.
Winkler, T.
Reichl, H.
Mainwork
Werkstoffwoche '96. Symposium 9: Neue Werkstoffkonzepte
Conference
Werkstoffwoche 1996
Language
German
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM