Fraunhofer-Gesellschaft

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Charakterisierung von Struktur und Eigenschaften ferromagnetischer Schichten als Voraussetzung für die Optimierung und Weiterentwicklung von Systemen zur Datenaufzeichnung

 
: Breuer, H.; Cuntze, G.; Nichtl-Pecher, W.; Weigel-Krengel, K.; Altpeter, I.; Meyendorf, N.

Kempter, K.; Haußelt, J. ; Deutsche Gesellschaft für Materialkunde e.V. -DGM-, Oberursel:
Werkstoffwoche '98. Bd.1: Symposium 1: Werkstoffe für die Informationstechnik. Symposium 12: Mikrosystemtechnik
Weinheim: Wiley-VCH, 1999
ISBN: 3-527-29938-6
pp.161-164 : Ill.
Werkstoffwoche <2, 1998, München>
German
Conference Paper
Fraunhofer IZFP ()
dünne Schicht; Eigenspannungsmessung; Ferromagnetismus; Werkstoffcharakterisierung

Abstract
Die Leistungsfähigkeit des BEMI konnte an ausgewählten Beispielen dokumentiert werden. Wir konnten dokumentieren, daß mit dem Mikroskop ein empfindliches Werkzeug für die Entwicklung und Herstellung dünner Schichten zur Verfügung steht. So ist es möglich, die Prozeßbedingungen für die Herstellung von ferromagnetischen Schichten zu kontrollieren und zu optimieren, wobei das BEMI hierzu wichtige Information über Eigenspannungen, Barkhausenrauschen und Koerzitivität liefert, um die Eigenschaften ferromagnetischer Schichten und entsprechender Schreib/Leseköpfe optimieren zu können. (z.B. Mikrogalvanik polykristalliner Permalloyschichten, Sputtern nanokristalliner Eisennitrid-Schichten). Es gelang außerdem, nach entsprechender Kalibrierung mit dem BEMI die Eigenspannungen dünner weichmagnetischer Schichten quantitativ und mit hoher Ortsauflösung zu ermitteln.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-7614.html