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Konferenzschrift
Charakterisierung galvanisch abgeschiedener Sensorstrukturen
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1999
Conference Paper
Titel
Charakterisierung galvanisch abgeschiedener Sensorstrukturen
Author(s)
Auerswald, E.
Sommer, J.-P.
Michel, B.
Kieselstein, E.
Brämer, B.
Hauptwerk
Werkstoffwoche '98. Bd.1: Symposium 1: Werkstoffe fĂ¼r die Informationstechnik. Symposium 12: Mikrosystemtechnik
Konferenz
Werkstoffwoche 1998
Language
German
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Fraunhofer-Institut fĂ¼r Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM