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Charakterisierung ferromagnetisch dünner Schichten mit Hilfe der Barkhausenrausch-Mikroskopie

 

Forschungskuratorium Maschinenbau e.V. -FKM-, Frankfurt/Main; Deutscher Verband für Materialforschung und -prüfung e.V. -DVM-, Berlin:
Bauteilversagen durch Mikrodefekte
Berlin: DVM, 1998 (DVM-Bericht 518)
pp.83-90
Deutscher Verband für Materialforschung und -prüfung, Arbeitskreis Mikro- und Nanoprüftechnik (Tagung) <18, 1998, München>
German
Conference Paper
Fraunhofer IZFP ()
Barkhausen microscopy; Barkhausen-Mikroskopie; Barkhausen Noise and Eddy Current Microscopy (BEMI); dünnes Stahlblech; thin films

Abstract
Mit dem BEMI steht ein empfindliches Werkzeug für die Entwicklung und Herstellung neuer magnetischer Werkstoffe zur Verfügung, mit dem es möglich ist, die Prozeßbedingungen für die Herstellung von ferromagnetischen dünnen Schichten zu überwachen und zu optimieren. Die Leistungsfähigkeit der entwickelten Barkhausenrausch- Mikroskopie wurde an einer Reihe dünner Schichten (Sendust, Sofmax) wie sie in magnetinduktiven Sensoren, aber auch an ultradünnen Schichten, (NiFe, NiFeCr), die in magnetoresistiven Sensoren zum Einsatz kommen, aufgezeigt. Das BEMI liefert wichtige Information bzgl. Mikrogefügeveränderungen und Änderungen in der magnetischen Härte aber auch bzgl. des Eigenspannungszustandes. Die Ermittlung von Eigenspannungen ist bei der Entwicklung von dünnen Schichten von besonderer Bedeutung. An getemperten und ungetemperten Sendust-Proben konnte nachgewiesen werden, daß mit dem BEMI bei Kalibrierung mittels der Röntgendiffraktion eine schnelle und ortsaufgelöste quantitative Eigen spannungsermittlung möglich ist. Untersuchungen an Sendust-Schichten unterschiedlicher Schichtaufbauten zeigten, daß es das BEMI erlaubt, strukturelle Unterschiede, welche sich aufgrund unterschiedlicher Zwischenschichten wie z.B.: SitO2-bzw. Cr-Schichten ergeben, nachzuweisen.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-7589.html

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