Fraunhofer-Gesellschaft

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Charakterisierung der Rauheit optischer Funktionsflächen - Methodenvergleich

 

ACS Organisations GmbH, Wunstorf:
OPTO 1994. Kongreßband. Kongreß und Fachausstellung für Optische Sensorik, Meßtechnik und Elektronik
Wunstorf, 1994
pp.73-80
Kongreß und Fachausstellung für Optische Sensorik, Meßtechnik und Elektronik <1994, Leipzig>
German
Conference Paper
Fraunhofer IOF ()
integrale Streulichtmessung; light scattering; microtopography; Mikroprofilometrie; profilometry; Rauhigkeitsanalyse; surface roughness; winkelaufgelöste Streulichtmessung

Abstract
A number of techniques has been applied to investigate the roughness of several polished samples. It was found that total integrated scatter and angle resolved scatter measurements as well as atomic force microscopy and optical profilometry are well suited for the characterization of surface microtopography in the subnanometer region. The comparison of results obtained from different methods was based on the consideration of the bandwidth llimits of each technique

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-7581.html