Fraunhofer-Gesellschaft

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Messverfahren zur Bestimmung kleiner Lichtabsorptionen

Light absorption measuring system - has automatic compensation of intensity difference for measuring and reference beam.
 
: Sartorius, B.

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DE 1990-4005864 A1: 19900222
DE 1991-4106042 A: 19910222
DE 4106042 A1: 19910829
G01N0021
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer HHI ()

Abstract
Moderne Technologien, insbesondere auf dem Gebiet der Halbleiter, erfordern das Messen immer kleinerer Lichtabsorptionen in beliebigen Materialien. Die Anforderungen an Messgenauigkeit und Messgeschwindigkeit wachsen dabei ebenso, wie der Wunsch nach einfacher und damit oekonomischer Verfahrensfuehrung. Das erfindungsgemaesse Messverfahren basiert auf der Verwendung eines Mess- und Referenzlichtstrahls (M, R) unterschiedlicher Wellenlaengen zur Eliminierung von Stoereffekten. Die aus den Transmissionsintensitaeten (I<-Mc , I<-Rc ) detektierten Mess- und Referenzsignale (U<-Mc , U<-Rc ) werden einer Differenzbildung (D) zugefuehrt, mit der unter automatischer Beruecksichtigung (B) des natuerlichen Intensitaetsunterschieds (I<-N ) von Mess- und Referenzlichtstrahl (M, R) hochgenau aufgrund der mathematischen Zusammenhaenge und extrem schnell aufgrund der direkten Messmethode die gesuchten Lichtabsorptionen (LA) gleichsam direkt gemessen werden. Die automatische Beruecksichtigung (B) kann durch eine optische Abstimmung (OA) oder eine elektronische Abstimmung (EA) der gebildeten Differenz auf Null erfolgen und traegt wesentlich zur Einfachheit des Messverfahrens bei. Absorptionsmessung in beliebigen Materialien, insbesondere in Festkoerpern (InGaAsP/InP-Epitaxieschichten).

 

EP 443702 A UPAB: 19930928 The measuring system uses quasi-simultaneous detection of the transmission intensity of a measuring beam and a reference light beam having differing wavelengths. The light absorption is measured directly by common analogue evaluation of the detected measured and reference signals (UMC, URC) via a difference amplifier (D), with the difference adjusted to zero when a measurement 'wis obtained without the measured material (MA) to eliminate the difference between the measuring and reference beams. ADVANTAGE - Direct measurement of small light absorption for different materials. 1/6

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-75587.html