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Title
Messverfahren zur Bestimmung kleiner Lichtabsorptionen
Date Issued
1991
Author(s)
Sartorius, B.
Patent No
1990-4005864
Abstract
Moderne Technologien, insbesondere auf dem Gebiet der Halbleiter, erfordern das Messen immer kleinerer Lichtabsorptionen in beliebigen Materialien. Die Anforderungen an Messgenauigkeit und Messgeschwindigkeit wachsen dabei ebenso, wie der Wunsch nach einfacher und damit oekonomischer Verfahrensfuehrung. Das erfindungsgemaesse Messverfahren basiert auf der Verwendung eines Mess- und Referenzlichtstrahls (M, R) unterschiedlicher Wellenlaengen zur Eliminierung von Stoereffekten. Die aus den Transmissionsintensitaeten (I<-Mc , I<-Rc ) detektierten Mess- und Referenzsignale (U<-Mc , U<-Rc ) werden einer Differenzbildung (D) zugefuehrt, mit der unter automatischer Beruecksichtigung (B) des natuerlichen Intensitaetsunterschieds (<Delta>I<-N ) von Mess- und Referenzlichtstrahl (M, R) hochgenau aufgrund der mathematischen Zusammenhaenge und extrem schnell aufgrund der direkten Messmethode die gesuchten Lichtabsorptionen (LA) gleichsam direkt gemessen werden. Die automatische Beruecksichtigung (B) kann durch eine optische Abstimmung (OA) oder eine elektronische Abstimmung (EA) der gebildeten Differenz auf Null erfolgen und traegt wesentlich zur Einfachheit des Messverfahrens bei. Absorptionsmessung in beliebigen Materialien, insbesondere in Festkoerpern (InGaAsP/InP-Epitaxieschichten).
EP 443702 A UPAB: 19930928 The measuring system uses quasi-simultaneous detection of the transmission intensity of a measuring beam and a reference light beam having differing wavelengths. The light absorption is measured directly by common analogue evaluation of the detected measured and reference signals (UMC, URC) via a difference amplifier (D), with the difference adjusted to zero when a measurement 'wis obtained without the measured material (MA) to eliminate the difference between the measuring and reference beams. ADVANTAGE - Direct measurement of small light absorption for different materials. 1/6
Language
de
Patenprio
DE 1990-4005864 A1: 19900222