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Verfahren und Schaltungsanordnung zur pulsfoermigen Energieeinspeisung in Magnetronentladungen
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Title
Verfahren und Schaltungsanordnung zur pulsfoermigen Energieeinspeisung in Magnetronentladungen
Date Issued
2002
Author(s)
Goedicke, K.
Winkler, T.
Junghaehnel, M.
Handt, K.
Gueldner, H.
Wolf, H.
Eckholz, F.
Patent No
2000-10015244
Language
de
Institute
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
Link
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=10015244A
Patenprio
DE 2000-10015244 A: 20000328