Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Geraet zur schnellen Messung winkelabhaengiger Beugungseffekte an feinstrukturierten Oberflaechen

 
: Benesch, N.; Schneider, C.; Pfitzner, L.

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DE 1999-19914696 A: 19990331
DE 1999-19914696 A: 19990331
EP 2000-925151 AW: 20000331
WO 2000-EP2894 A: 20000331
DE 19914696 C2: 20021128
EP 1166090 B1: 20051130
G01N0021
G01N0021
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IISB ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-75570.html