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Patente
Geraet zur schnellen Messung winkelabhaengiger Beugungseffekte an feinstrukturierten Oberflaechen
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Patent
Title
Geraet zur schnellen Messung winkelabhaengiger Beugungseffekte an feinstrukturierten Oberflaechen
Inventor(s)
Benesch, N.
Schneider, C.
Pfitzner, L.
Link to Espacenet
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=19914696A
Patent Number
1999-19914696
Publication Date
2006
Language
German
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB