Publica

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Geraet zur schnellen Messung winkelabhaengiger Beugungseffekte an feinstrukturierten Oberflaechen

	DE 1999-19914696 A: 19990331
	DE 1999-19914696 A: 19990331 EP 2000-925151 AW: 20000331 WO 2000-EP2894 A: 20000331
	DE 19914696 C2: 20021128 EP 1166090 B1: 20051130
	G01N0021 G01N0021

	German
	Patent, Electronic Publication
	Fraunhofer IISB ()